ۋافتا قىزىتىش يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى مۇھىم جەريان بولۇپ، قوشۇمچە ماددىلارنى ئاكتىپلاشتۇرۇش، تورنى ئەسلىگە كەلتۈرۈش ۋە ئۇلترا سايىز تۇتاشتۇرۇش (USJ) شەكىللەندۈرۈشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئادەتتىكى ئوچاق قىزىتىش ۋە تېز ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش (RTP) يۇقىرى ئىسسىقلىق خامچوتى، قوشۇمچە ماددىلارنىڭ تارقىلىشىنىڭ ناچار كونترول قىلىنىشى ۋە بىردەكلىكنىڭ يېتەرلىك بولماسلىقىدىن كېلىپ چىقىدۇ، بۇ ئۇلارنى 7nm، 5nm ۋە ئۇنىڭدىن يۇقىرىدىكى ئىلغار تېخنىكا تۈگۈنلىرى، بولۇپمۇ Gate-All-Around (GAA) قۇرۇلمىسى ۋە 3D NAND چاقماق ساقلىغۇچ ئۈچۈن يېتەرلىك ئەمەس قىلىدۇ. لازېر ئاساسلىق ۋافتا قىزىتىش، ۋاقىتلىق يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك نۇرلاندۇرۇش، مىكرون كۆلەملىك بوشلۇق ئېنىقلىقى ۋە ئەڭ تۆۋەن ئىسسىقلىق تارقىلىشى بىلەن، بۇ تەلەپچان ئىشلەپچىقىرىش تەلىپىنى قاندۇرۇشنىڭ كېيىنكى ئەۋلاد يادرولۇق جەريانى سۈپىتىدە ئوتتۇرىغا چىقتى.
لازېرلىق قىزىتىشنىڭ ئاساسلىق پرىنسىپى
Wave Optics لازېر قىزىتىش بېشى ئۆزىگە خاس ئوپتىكىلىق لايىھەگە ئىگە بولۇپ، ۋافېر يۈزىگە ئېنىق نۇر چۈشۈرۈش ئۈچۈن يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك، ئىسسىقلىق جەھەتتىن بىردەك لازېر نۇرى بىلەن تەمىنلەيدۇ. يېشىل لازېر كرېمنىي ئاساسلىق ماتېرىياللار (SiC نى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ) بىلەن ئەلا سۈپەتلىك سۈمۈرۈش ئىقتىدارىغا ئىگە بولۇپ، ۋافېرغا زىيان يەتكۈزمەي تۇرۇپ يۇقىرى ئۈنۈملۈك ئىسسىقلىق بىر تەرەپ قىلىش ئىقتىدارىنى تەمىنلەيدۇ. بۇ ئىئون كۆچۈرۈش ئارقىلىق بۇزۇلغان قەۋەتنىڭ قايتا كىرىستاللىشىشى ۋە ئۈنۈملۈك قوشۇمچە ماددىلارنى ئاكتىپلاشتۇرۇشنى ئاسانلاشتۇرىدۇ. كېيىن، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ئىنتايىن تېز سوۋۇتۇش ئىقتىدارىنى ئىشقا ئاشۇرىدۇ، بۇ تور قۇرۇلمىسىنى توڭلىتىدۇ ۋە قوشۇمچە ماددىلارنىڭ تارقىلىشىنى باستۇرىدۇ. بۇ جەريان مۇۋەپپەقىيەتلىك ھالدا يۇقىرى ئاكتىپلاشتۇرۇش ئۈنۈمى ۋە تىك (كېسكىن) قوشۇمچە ماددىلارنىڭ شەكىللىنىشىگە ئىگە ئىنتايىن سايىز تۇتاشتۇرۇشلارنى ھاسىل قىلىدۇ.
لازېرلىق قىزىتىش ئارقىلىق قىزىتىش ۋافلى پىششىقلاپ ئىشلەش ئۈنۈمىنى يۇقىرى كۆتۈرۈشتە ئىنتايىن مۇھىم رول ئوينايدۇ
- نۇرنىڭ بىردەكلىكى: ياپلاق ئۈستى نۇر نۇقتىسىنىڭ ئېنېرگىيە بىردەكلىكى %95 تىن ئاشىدۇ (ئادەتتىكى)، يەرلىكتە ئارتۇق ئېرىپ كېتىش ياكى يېتەرلىك قىزىتىلماسلىقنى يوقىتىدۇ.
- ئېنېرگىيە مۇقىملىقى: ئۈزلۈكسىز چىقىرىش ئېنېرگىيەسىنىڭ ئۆزگىرىشى %2 تىن تۆۋەن بولۇپ، ۋافېرنىڭ ۋافېرغا ۋە تۈركۈم بويىچە ماسلىشىشچانلىقىنىڭ ئەلا بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
- يۈزەكى شەكىلنىڭ ئېنىقلىقى: ئوپتىكىلىق زاپچاسلار نانومېتىرلىق PV/RMS قىممىتىگە ئىگە بولۇپ، دولقۇن ئالدى بۇرمىلىنىشىنى ياخشى كونترول قىلىپ، قىزىق نۇقتىلارنىڭ بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
- فوكۇس چوڭقۇرلۇقى ۋە نۇر شەكلى: خاسلاشتۇرغىلى بولىدىغان فوكۇس چوڭقۇرلۇقى نۇر ئىنتېگراتورىنىڭ بىر خىللىقى بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ، چوڭ دىئامېتىرلىق ۋافېرلارنى تولۇق مەيداندا سىكانىرلاشنى قوللايدۇ.
- دولقۇن ئۇزۇنلۇقىنى ماسلاشتۇرۇش: ئېنېرگىيە ئىشلىتىش ئۈنۈمىنى ئەڭ يۇقىرى چەككە يەتكۈزۈش ئۈچۈن كرېمنىي ۋە ئۈچىنچى ئەۋلاد يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەرنىڭ (مەسىلەن، SiC، GaN) يۇقىرى سۈمۈرگۈچلۈك دولقۇن بەلبېغى ئۈچۈن ئەلالاشتۇرۇلغان.
ئادەتتىكى قىزىتىشقا قارىغاندا ئۈچ مۇھىم ئەۋزەللىك
1. قوشۇمچە ماددىلارنىڭ تارقىلىشىنى ناھايىتى ياخشى باستۇرۇش - ئىسسىقلىق تەسىرى نانوسېكۇنتتىن مىللىسېكۇنتقىچە بولغان ئارىلىقتا بولۇپ، قوشۇمچە ماددىلارنىڭ تارقىلىشى نۆلگە يېقىن، بۇ ئىقتىدارغا ئوچاقتا قىزىتىش ياكى RTP ئارقىلىق ئېرىشكىلى بولمايدۇ.
2. تۆۋەن ئىسسىقلىق سەرپىياتى ۋە ئۈسكۈنىنىڭ بۇزۇلۇشى ئەڭ تۆۋەن - پەقەت تاختا يۈزىلا ۋاقىتلىق يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا دۇچ كېلىدۇ، بۇنىڭ نەتىجىسىدە ئاساسىي قاتلام ياكى ئۈسكۈنە قۇرۇلمىسىنىڭ ئىسسىقلىق ئۆزگىرىشى بولمايدۇ ۋە يۈز يۈزىنىڭ بۇزۇلۇشى بولمايدۇ.
3. ئېنىقلىق بىلەن تاللاش رايونىنى قىزىتىش - تەڭشىگىلى بولىدىغان مىكرون ئۆلچىمىدىكى نۇر نۇقتىلىرى 3D بىر گەۋدىلەشتۈرۈش ۋە ھەر خىل بىر گەۋدىلەشتۈرۈلگەن ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن يەرلىك قىزىتىشنى قوللايدۇ.
قوللىنىش سىنارىيەلىرى
قوللىنىشچانلىقى ئىلغار لوگىكا (GAA/CFET)، DRAM/3D NAND، SiC/GaN توك ئۈسكۈنىلىرى، SOI ۋە مىكرو/نانو ئۈسكۈنىلىرى ئۈچۈن مەنبە/ئېقىش قوزغىتىش، قانال رېمونت قىلىش ۋە ئوم بىلەن ئالاقىلىشىش ئارقىلىق قىزىتىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. لازېرلىق قىزىتىش ئۈسكۈنىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمى ۋە ئىقتىدارىنى بىرلا ۋاقىتتا ياخشىلايدۇ.
لازېرلىق قىزىتىش ۋافېر پىششىقلاشنى دۇنياۋى (يوشۇرۇن) قىزىتىشتىن ئېنىق يەرلىك قىزىتىشقا ئۆزگەرتىدۇ. ئۇنىڭ كۈچلۈك ئوپتىكىلىق تېخنىكىسى ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ تۈگۈنلەرنىڭ داۋاملىق كۆلەملىشىشى ۋە ئىقتىدار جەھەتتىكى بۆسۈشلىرىنى قوللايدۇ.
مەھسۇلات ئۆلچىمى جەدۋىلى
| پارامېتىر | ئۆلچەم |
| كۈچ | 60-20000W |
| دولقۇن ئۇزۇنلۇقى | خاسلاشتۇرغىلى بولىدۇ: 355/450/532/915/980/1080nm ۋە باشقا دولقۇن بەلباغلىرى |
| سانلىق دىئافراگما (NA) | خاسلاشتۇرغىلى بولىدۇ |
| ئۈنۈملۈك بىر خىللاشتۇرۇش رايونى | خاسلاشتۇرغىلى بولىدۇ |
| فوكۇس ئارىلىقى | ≥500mm (گوموگېنلاشتۇرۇش رايونىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ) |
| سوۋۇتۇش | سۇ سوۋۇتۇش |
| ئېغىرلىقى | 10 كىلوگرام |
| ئۆلچەملىرى | خاسلاشتۇرغىلى بولىدۇ |
| باشقىلار | قوشۇمچە: ئىنفىرا قىزىل نۇرلۇق تېمپېراتۇرا مەيدانىنى بايقاش مودۇلى، قوغداش ئەينەك بۇلغىنىشىنى بايقاش مودۇلى |
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 7-ئاينىڭ 23-كۈنى