يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرلار، ئېنىقلىقتىكى ئوپتىكىلىق لىنزا ۋە قاپلانغان زاپچاسلارنىڭ يۈزەكى پۇختىلىقى، باسقۇچ ئېگىزلىكى ۋە نېپىز پەردە قېلىنلىقىنى تەكشۈرۈش ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ. ئەنئەنىۋى ئالاقىلىشىش زوندىنى سىكانىرلاش ئاسانلا نېپىز ئەۋرىشكىلەرنى چىزىۋېتىدۇ، ئادەتتىكى ئوپتىكىلىق ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرى بولسا نانو دەرىجىلىك ئېنىقلىقنى يەتكۈزەلمەيدۇ. قانداق قىلىپ بىرلا ۋاقىتتا بۇزغۇنچىلىقسىز سىناق، ئىنتايىن يۇقىرى نانو ئېنىقلىقى ۋە يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىدىكى ئاممىۋى ئىشلەپچىقىرىش تەكشۈرۈشىگە ئېرىشكىلى بولىدۇ؟
دولقۇن ئۇزۇنلۇقى OE نىڭ يېڭى سانائەت ئاق نۇر ئارىلاشما ئۆلچەش ئەسۋابى قوش ئارىلاشما ئۆلچەش ھالىتىگە ئىگە. ئۇ ئالاقىسىز بايقاش ئىقتىدارى بىلەن، تەجرىبىخانا تەتقىقات ۋە تەرەققىياتتىن تارتىپ توردا ئىشلەپچىقىرىش سۈپىتىنى تەكشۈرۈشكىچە بولغان پۈتۈن خىزمەت ئېقىمىنى قاپلايدۇ.
بارلىق يۈزەكى توپوگرافىيە ئۈچۈن قوش يادرولۇق ئىنتېرفېرومېتىرىيە ھالىتى
بىر خىل ھالەتلىك ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرىدىن پەرقلىق ھالدا، بۇ سىستېما VSI (ۋېرتىكال سىكانىرلاش ئارىلىشىش ئۆلچەش) ۋە PSI (باسقۇچ ئۆزگەرتىش ئارىلىشىش ئۆلچەش) ئالگورىزىملىرىنى بىرلەشتۈرۈپ، بىر ماشىنا بىلەن ئىككى خىل يادرولۇق ئۆلچەش تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ.
| سېلىشتۇرۇش تۈرى | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| ئاساسلىق قوللىنىلىدىغان يۈزلەر | قوپال يۈزلەر، پەلەمپەيلەر، ئۈزۈكسىز ۋە مۇرەككەپ يەر شەكلى | ئىنتايىن سىلىق، ئۈزۈلمەس ۋە ئەينەك يۈزلەر |
| تىك ئېگىزلىك ئۆلچەش دائىرىسى | كەڭ دائىرىلىك؛ چوڭقۇر ئويمانلىق ۋە يۇقىرى قەدەملەرنى ئۆلچەشكە قادىر | تار دائىرە؛ ئايرىم چوڭ قەدەملەرگە ماس كەلمەيدۇ |
| تىك ئېنىقلىق | نانومېتىر سەۋىيەسى؛ ئەلالاشتۇرۇلغان ئالگورىزىملار ئارقىلىق نانومېتىردىن تۆۋەن سەۋىيەگە يېتىشكىلى بولىدۇ | ئەڭ يۇقىرى ئېنىقلىق دەرىجىسى؛ نانومېتردىن تۆۋەن، ھەتتا گانگسترومدىن تۆۋەن سەۋىيەگىچە تەكرارلىنىش ئىقتىدارى |
| يۈزەكى پۇختىلىققا چىداملىق | يۇقىرى | تۆۋەن |
| باسقۇچلۇق ئىككىلىنىش | دېگۈدەك يوق؛ مۇتلەق ئېگىزلىك قىممىتىنىڭ نەتىجىسى بار | 2π باسقۇچلۇق ئوراش خاتالىقىغا باغلىق |
| سۈرئەتنى ئۆلچەش | ئوق يۆنىلىشىدە سىكانىرلاش تەلەپ قىلىنىدۇ، نىسبەتەن ئاستا | ئادەتتە تېخىمۇ تېز |
| تىترەشكە قارشىلىق كۆرسىتىش | سىكانىرلاش جەريانىدا تىترەشكە سەزگۈر | كۆپ رامكىلىق باسقۇچلۇق ئالماشتۇرۇش، تىترەشكە تېخىمۇ سەزگۈر |
| ئادەتتىكى قوللىنىشلار | داغسىزلىق، قەدەم ئېگىزلىكى، مىكرو قۇرۇلمىلار، پىششىقلاپ ئىشلەنگەن يۈزلەر | ئىنتايىن سىلىق يۈزەكى پۇراقلىق، يۈزەكى شەكىل ۋە تۈزلۈك سىنىقى |
PSI (باسقۇچ ئۆزگىرىشچان ئارىلىشىش): نانو كۆلەملىك كىچىك ئېگىزلىك ئالاھىدىلىكلىرى ۋە ئىنتايىن نېپىز پەردىلەرگە ئىختىساسلاشقان بولۇپ، ئەڭ يۇقىرى مىكروسكوپ ئېنىقلىق دەرىجىسىنى تەمىنلەيدۇ.
تەكشى ئەينەك
ئەگرى ئەينەك (قېپىق ئەينەك)
فوتولىتولوگىيەلىك ئۈلگە ئۈلگىسى
VSI تىك سىكانىرلاش ئارىلىشىش سىستېمىسى: ئېگىزلىك ئۆزگىرىشى چوڭ ۋە قەدەملىرى ئۇزۇن بولغان ئىش بۇيۇمى ئۈچۈن ئەلالاشتۇرۇلغان؛ بۆلەكلىك سىكانىرلاشسىز تولۇق ئۆلچەش دائىرىسى بار.
ئىلغار ئورالغان ۋاپپىلار ئۈستىدىكى ئايلانما مىكرو تۈگمە قاتارى
ئىلغار ئورالغان ۋاپپىلار ئۈستىدىكى ئېللىپس شەكىللىك مىكرو سوقۇش قۇرۇلمىسى
مىكرولىنزا قاتارى
450–700 نانومېتىرلىق قىسقا ماسلىشىشچان ئاق نۇر مەنبەسى بىلەن ماسلاشتۇرۇلغان بۇ نۇر كۆپ قېتىم قايتۇرۇلغان نۇرنى ئۈنۈملۈك باستۇرالايدۇ ھەمدە كۈچلۈك توسقۇنلۇققا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى تەمىنلەيدۇ. كۆپ قەۋەتلىك قاپلاملار بىلەن تەمىنلەنگەن بۇ ئوپتىكىلىق زاپچاس مۇقىم ۋە ئېنىق توسقۇنلۇق سىگناللىرىنى چىقىرىپ، ھەقىقىي ۋە ئىشەنچلىك ئۆلچەش نەتىجىلىرىنى بېرەلەيدۇ.
2. كەسىپتە ئالدىنقى قاتاردا تۇرىدىغان نانو دەرىجىلىك ئۆلچەملەر، ئىز قوغلىغىلى بولىدىغان ۋە مۇقىم ئۇزۇن مۇددەتلىك سانلىق مەلۇماتلار
-بۇ سىستېما مەركىزى دولقۇن ئۇزۇنلۇقى 550 نانومېتىر كېلىدىغان LED ئاق نۇر مەنبەسىنى قوللانغان بولۇپ، دۇنياۋى ئالىي دەرىجىلىك ئۆلچەملەرگە ماس كېلىدىغان ئەڭ يۇقىرى دەرىجىلىك يادرولۇق ئىقتىدار پارامېتىرلىرى بىلەن تەمىنلەنگەن.
- تىك ئېنىقلىق: <1nm، قايتا ئۆلچەش خاتالىقى: <10nm، ھەقىقىي نانومېتىر ئېنىقلىقى
- ئەڭ چوڭ تىك ئۆلچەش دائىرىسى: 500 μm، يۇقىرى-تۆۋەن مىكرو قۇرۇلمىلار ئۈچۈن قايتا-قايتا ئورنىنى ئۆزگەرتىشنىڭ ھاجىتى يوق.
- سىكانىرلاش سۈرئىتى: 100 μm/s، بىر قېتىملىق تولۇق سىكانىرلاش 10 سېكۇنت ئىچىدە تاماملىنىدۇ، ئېنىقلىق ۋە تەكشۈرۈش ئۈنۈمى تەڭپۇڭلاشتۇرۇلىدۇ.
-NIST ئىز قوغلىغىلى بولىدىغان ئۆلچەملىرىگە ماس كېلىدۇ، ئىچكى ئاپتوماتىك تەڭشەش ئالگورىزىمى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋە ئوپتىكىلىق كەسىپلەرنىڭ قاتتىق QC ئۆلچەملىرىگە ماس كېلىدىغان، ئىزچىل ئىز قوغلىغىلى بولىدىغان تۈركۈم سانلىق مەلۇماتلىرىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ.
| بۇيۇم | پارامېتىر |
| سىغىمىنى ئۆلچەش | 3D يۈزەكى توپوگرافىيەسى، يۈزەكى پۇچۇقلۇقى، پەلەمپەي ئېگىزلىكى ۋە نۇر قايتۇرۇش ماتېرىياللىرى ۋە ئوپتىكىلىق زاپچاسلارنىڭ قەۋەت قېلىنلىقى |
| سانلىق مەلۇمات توپلاش ھالىتى | تىك سىكانىرلاش ئارىلىشىش (VSI) + باسقۇچ ئۆزگىرىش ئارىلىشىش (PSI) |
| كالىبراتسىيە سىستېمىسى | NIST ئىز قوغلىغىلى بولىدىغان ئۆلچەم + ئاپتوماتىك كالىبراتسىيە ئالگورىزىمى |
| تىك ئۆلچەش دائىرىسى | 500 مىكرومېتىر |
| كۆرۈش دائىرىسى | 20× ئوبيېكتىۋ: 0.87 × 0.65 مىللىمېتىر |
| كامېرا ئىقتىدارى | ئەڭ يۇقىرى ئېنىقلىق دەرىجىسى: 2048×2448؛ كادىر سۈرئىتى: 74 Fps؛ بىت چوڭقۇرلۇقى: 12 بىت |
| سىكانىرلاش سۈرئىتى | 100 μm/s (ئېنىقلىق ھالىتى) |
| ئوبيېكتىپ لىنزا تاللانمىلىرى | 20x / 50x چوڭايتىش نىشانلىرىنى تەڭشىگىلى بولىدۇ |
| ئورنىتىش لايىھىسى | ئىچكى قىسمىغا ئورنىتىلغان ئاكتىپ تىترەش ئىزولياتسىيە سۇپىسى، توغرىسىغا ۋە تىك ئورنىتىشقا بولىدۇ |
| ئومۇمىي ئۆلچىمى (ئۇزۇنلۇق × كەڭلىك × ئېگىزلىك) | 120 × 80 × 65 سانتىمېتىر |
| ساپ ئېغىرلىقى | ≤58 كىلوگرام |
3. سانائەت بىر گەۋدىلەشكەن ئىشكاپ لايىھىسى، تەجرىبىخانا ۋە ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسى بىلەن ماس كېلىدۇ
ماسلىشىشچانلىقى يۇقىرى بولغان، كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىش سېخلىرى ۋە ئىلمىي تەتقىقات تەجرىبىخانىلىرى ئۈچۈن ئەلالاشتۇرۇلغان.
ئىچكى قىسمىغا ئورنىتىلغان ئاكتىپ تىترەش ئايرىش سۇپىسى: زاۋۇت تىترەش ئاستىدا مۇقىم ئۆلچەش، قوشۇمچە تىترەش ئايرىش جەدۋىلىنىڭ ھاجىتى يوق.
قوش ئورنىتىش قۇرۇلمىسى: توغرىسىغا ياكى تىك ئورنىتىش، ئاپتوماتىك ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسى ۋە تەجرىبىخانا خىزمەت ئورۇنلىرى بىلەن ئاسان بىرلەشتۈرۈش.
ھەممىسى بىر گەۋدە بولۇپ، كىچىك بوشلۇققا ئىگە، ئۆلچىمى 120 × 80 × 65 سانتىمېتىر، ئېغىرلىقى ≤58 كىلوگرام، ئورنىدا ئىشلىتىش ئاسان.
بۇ پۈتۈن سىستېما يورۇقلۇق مەنبەسى، ئىنتېرفېرومېتىر ئاساسلىق ئۈسكۈنىسى ۋە كونترول مودۇلىنى بىرلەشتۈرگەن. ئوراپ بولغاندىن كېيىن ئۇلاپ ئىشلەتكىلى بولىدۇ، مۇرەككەپ ئوپتىكىلىق يولنى تەڭشەشنىڭ ھاجىتى يوق.
يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن كەڭ دائىرىلىك قوللىنىش دائىرىسى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ سانائىتى: كرېمنىي ۋاپپېرلىرى ۋە مىكرو نانو چىپلىرىنىڭ 3D توپوگرافىيەسى ۋە باسقۇچ ئېگىزلىكىنى تەكشۈرۈش.
ئېنىق ئوپتىكىلىق تەكشۈرۈش: ئوپتىكىلىق لىنزىلار، نىشانلار ۋە قاپلانغان ئوپتىكىلىق ئېلېمېنتلارنىڭ قوپاللىقى ۋە پىلاستىنكا قېلىنلىقىنى سىناق قىلىش.
يېڭى فۇنكسىيەلىك قاپلاملار: نۇر قايتۇرغۇچ قاپلاملار ۋە فۇنكسىيەلىك نېپىز پەردىلەرنىڭ يۈزەكى شەكلى ۋە قېلىنلىقىنى تەھلىل قىلىش.
ئىلمىي تەتقىقات تەجرىبىخانىلىرى: مىكرو نانو قۇرۇلمىسىنىڭ خاراكتېرىنى ئېنىقلاش ۋە ئېنىقلىق تەركىبىي قىسىملارنىڭ مورفولوگىيە سىنىقى.
ئوپتىكىلىق تەتقىقات ۋە تەرەققىيات ساھەسىدە نۇرغۇن يىللىق كەسپىي تەجرىبىسى بىلەن، Wavelength OE شىركىتى ئاق نۇر ئارىلىشىش ئۆلچەش ئۈسكۈنىلىرىنىڭ بارلىق يادرولۇق ئوپتىكىلىق يوللىرى ۋە ئۆلچەش ئالگورىزىملىرىنى مۇستەقىل ھالدا تەرەققىي قىلدۇرىدۇ. يورۇقلۇق مەنبەسى، ئوبيېكتىپ لىنزىسىدىن تارتىپ كالىبراتسىيە سىستېمىسىغىچە تولۇق تېخنىكىلىق كونترول. ھەر بىر ئۈسكۈنە يەتكۈزۈشتىن بۇرۇن كۆپ تەرەپلىمە ئېنىقلىق كالىبراتسىيەسىدىن ئۆتىدۇ. بىز تولۇق سېتىشتىن كېيىنكى تېخنىكىلىق قوللاش بىلەن تەمىنلەيمىز ۋە خېرىدارلارنىڭ ئىشخانا چوڭلۇقى ۋە ئاپتوماتىك ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىنىڭ تەلىپىگە ئاساسەن مەخسۇس ئۆلچەش چارىلىرىنى خاسلاشتۇرىمىز.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 7-ئاينىڭ 15-كۈنى